| 专利名称 | 基于脉冲管制冷技术的低温扫描探针显微镜系统 | 申请号 | CN200810114537.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101294889 | 公开（授权）日 | 2008.10.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 高鸿钧;郇庆 | 主分类号 | G01N13/10(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N13/10(2006.01)I;G12B21/00(2006.01)I | 专利有效期 | 基于脉冲管制冷技术的低温扫描探针显微镜系统 至基于脉冲管制冷技术的低温扫描探针显微镜系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明一种基于脉冲管制冷技术的低温扫描探针显微镜系统，针对振 动来源和特性，采用了包括波纹管、压电陶瓷管和弹簧在内的多级主动/ 被动式减振装置。波纹管用于连接系统主腔和脉冲管制冷头，实现系统整 体的振动隔绝。针对脉冲管制冷机特有的低频振动，以压电陶瓷管和数字 信号处理器为核心的主动式减振装置。铍铜弹簧和阻尼磁铁组成的又一级 被动式减振装置进一步对振动隔绝。本发明消除了从脉冲管制冷机、制冷 头到扫描探针头的振动，可用于其他要求低温的振动敏感场合，节省大量 液氦制冷剂，简化设备操作和维护并显著延长低温保持时间。 |
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