| 专利名称 | 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器 | 申请号 | CN200710098680.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101294824 | 公开（授权）日 | 2008.10.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 陈德勇;王军波;毋正伟 | 主分类号 | G01D5/12(2006.01)I | IPC主分类号 | G01D5/12(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器 至一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种基于微电子机械的微结构谐振式传感器，由两个微 扭摆谐振器并列放置，微扭摆谐振器上有检测用敏感层膜，另一微扭摆 谐振器上有差分检测的非敏感层膜。每个微扭摆谐振器由摆轴和分布在 摆轴两边的摆片组成，摆片上布置电磁激励线圈和拾振线圈。注入电流 的激励线圈在外加磁场洛伦兹力作用下，产生绕摆轴的扭矩，驱使扭摆 的振动，振动信号通过拾振线圈切割磁力线产生的感生电动势拾取，并 反馈到激励线圈，形成闭环自激，输出谐振频率。本发明工作于扭转模 态，提高了品质因素，差动输出抑制了由于温度等外界因素效应造成的 误差，工艺简单，检测灵敏度高，可作为生化传感器用于检测微量生化 分子，尤其适用于液相条件的生化检测和传感。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障