| 专利名称 | 控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法 | 申请号 | CN200810050789.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101290363 | 公开（授权）日 | 2008.10.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 梁静秋;王波;梁中翥;徐大伟 | 主分类号 | G02B5/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/08(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I | 专利有效期 | 控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法 至控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种控制生长多层膜制作多级微反射镜的方法，该方法包括下列步骤：制 作基片并进行清洗处理；用第一块光刻版光刻形成所需掩蔽图形，第一块光刻版明条纹和暗 条纹的宽度各为L/21；然后沉积镀膜材料，剥离光刻胶及其上的薄膜，形成多级膜层台阶； 按上述方法依次制作各膜层台阶，第n块光刻版明条纹和暗条纹的宽度各为L/2n，直至达到 所需级数，完成多级微反射镜基底的制作；用制作完成的多级微反射镜基底作为模板制作模 具，然后用模铸方法制成多级阶梯结构；在多级阶梯结构或多级微反射镜基底的表面镀增反 膜层。本发明有效提高了阶梯纵向尺寸精度及重复性，工艺可控性强，重复性好，不用化学 腐蚀，减少了污染。 |
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