| 专利名称 | 一种激光脉冲单粒子效应模拟系统 | 申请号 | CN201110459433.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102495355A | 公开（授权）日 | 2012.06.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 曾传滨;高林春;毕津顺;罗家俊;韩郑生 | 主分类号 | G01R31/311(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R31/311(2006.01)I | 专利有效期 | 一种激光脉冲单粒子效应模拟系统 至一种激光脉冲单粒子效应模拟系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种激光脉冲单粒子效应模拟系统，属于集成电路辐射技术领域。该模拟系统包括超快激光脉冲发生系统、测试系统和控制器。该模拟系统利用压电陶瓷旋转台，通过压电陶瓷旋转台的旋转能力实现了激光在被测器件上进行精确扫描，克服了激光脉冲单粒子效应测试系统需要移动位移台及安装在其上的芯片才能实现扫描的问题。 |
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