专利名称 | 绝对式光栅尺 | 申请号 | CN201010575398.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102095379A | 公开(授权)日 | 2011.06.15 | 申请(专利权)人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明(设计)人 | 曾琪峰;乔栋;孙强 | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/02(2006.01)I;G01D5/347(2006.01)I | 专利有效期 | 绝对式光栅尺 至绝对式光栅尺 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种绝对式光栅尺,其包括一标准光栅、一光电探测器、及一光源,其中,该绝对式光栅尺进一步包括一扫描掩膜,该光源发出光线,经由该扫描掩膜射入该标准光栅,该光电探测器接收到绝对位置信号、参考位置信号及细分信号。该参考位置信号包括两路,其中一路为二半透光信号的组合,另一路为一完全不透光信号和一完全透光信号的组合。该绝对式光栅尺具有读数电路简单的优点。 |
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