| 专利名称 | MEMS数字地震检波器 | 申请号 | CN201010568976.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102486541A | 公开（授权）日 | 2012.06.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院地质与地球物理研究所;中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国石油化工股份有限公司石油物探技术研究院;北京吉奥菲斯科技有限责任公司 | 发明（设计）人 | 郭建;车录锋;刘光鼎;宋祁真;李守才 | 主分类号 | G01V1/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G01V1/18(2006.01)I | 专利有效期 | MEMS数字地震检波器 至MEMS数字地震检波器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种MEMS数字地震检波器，为解决现有地震检波器灵敏度和抗干扰能力差问题，其由采集地震信号的MEMS地震传感器，用于低噪音电容信号放大和模拟力反馈的弱信号检测及反馈电路，将来自弱信号检测及反馈电路的模拟地震信号转化成数字信号的数字化单元，用于控制数字化单元、通信单元和供电电路的控制电路，用于接收主机系统控制命令和完成采集数据上传的数据通信单元和用于向前述五单元供电的供电电路六大单元组成。所述MEMS地震传感器和弱信号检测及反馈电路直接连接并集成为一体。所述控制电路为嵌入式CPU。所述MEMS地震传感器采用三层硅片三明治结构，采用八梁支撑、上下对称的双面梁质量块结构单片制作。其具有重量轻、体积小、灵敏度高、响应速度快、频带宽、动态范围大、畸变小、小信号识别能力和抗干扰能力强，可靠性好的优点。 |
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