纳米多层膜、场效应管、传感器、随机存储器及制备方法

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专利名称 纳米多层膜、场效应管、传感器、随机存储器及制备方法 申请号 CN201110290063.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102487124A 公开(授权)日 2012.06.06 申请(专利权)人 中国科学院物理研究所 发明(设计)人 韩秀峰;刘厚方;瑞之万 主分类号 H01L45/00(2006.01)I IPC主分类号 H01L45/00(2006.01)I;H01L27/24(2006.01)I;G11C13/00(2006.01)I 专利有效期 纳米多层膜、场效应管、传感器、随机存储器及制备方法 至纳米多层膜、场效应管、传感器、随机存储器及制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种电场调控型纳米多层膜、电场调制型场效应管、开关型电场传感器及电场驱动型随机存储器及制备方法,以用来获得室温下电场调制多层薄膜中的电致电阻效应。该纳米多层膜由下至上依次包括底层1、基片、底层2、功能层、缓冲层、绝缘层、中间导电层、覆盖层,中间导电层为磁性金属、磁性合金或者磁性金属复合层时,缓冲层和绝缘层可以根据实际需要选择性的添加。当中间导电层为非磁性金属层或反铁磁性金属层时,缓冲层和绝缘层必须添加,以便获得较高的信噪比。本发明通过变化的电场对铁电或多铁性材料的电极化特性进行调制,从而达到影响和改变金属层的电导的作用,调控器件电阻的变化,获得不同的电场下对应不同的电阻态,实现电致电阻效应。

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