一种大口径抛物面镜检测系统

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专利名称 一种大口径抛物面镜检测系统 申请号 CN200810113460.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101285732 公开(授权)日 2008.10.15 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 侯溪;伍凡;陈强;雷柏平 主分类号 G01M11/00(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/00(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 一种大口径抛物面镜检测系统 至一种大口径抛物面镜检测系统 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种大口径抛物面镜检测系统,包括菲索型干涉仪、高精度平面反射镜、被测抛物面镜、 电控平移台及计算机控制系统;平面反射镜实现对抛物面镜中心部分的自准直检测,之后移 除平面镜,通过计算机控制电控平移台移动菲索型干涉仪,使得标准镜头产生的不同曲率半 径的参考球面波前,与被测抛物面的平面反射镜口径外相应环形区域相匹配,通过计算机系 统上的菲索型干涉仪数据处理软件把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来;由环形子孔 径“拼接”算法对所得子孔径测试数据进行处理,然后与平面镜自准直检测所获得数据进行 全孔径波前重构获得被测抛物面面形信息;本发明为大口径和超大口径抛物面镜的研制提供 了一种有效的检测手段,具有较大的应用价值。

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