基于碳纳米管阵列的电容式气体传感器及其制备方法

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专利名称 基于碳纳米管阵列的电容式气体传感器及其制备方法 申请号 CN200810097898.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101281154 公开(授权)日 2008.10.08 申请(专利权)人 中国科学院合肥物质科学研究院 发明(设计)人 孟凡利;刘锦淮;李民强;陈燕;贾勇;罗涛 主分类号 G01N27/22(2006.01)I IPC主分类号 G01N27/22(2006.01)I 专利有效期 基于碳纳米管阵列的电容式气体传感器及其制备方法 至基于碳纳米管阵列的电容式气体传感器及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了基于碳纳米管阵列的电容式气体传感器及其制备方 法。在碳纳米管阵列的上下两端分别置有一块平板电极构成电容式气体 传感器结构,通过化学气相沉积的方法在阳极氧化铝模板中制备的碳纳 米管阵列作为两平板电极的支撑结构,使得两块平板电极之间具有微米 级的间距,流过电容传感器两平板电极间气体介电常数的变化由传感器 的电容变化量反映出来,可以据此判断被测气体的种类。本发明克服了 现有气体传感器的不足之处,有效缩短了电容传感器两平板间距,提高 了传感器对气体检测的灵敏度。

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