| 专利名称 | 一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关 | 申请号 | CN200710064876.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101276705 | 公开（授权）日 | 2008.10.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 李全宝;景玉鹏;陈大鹏;欧毅;叶甜春 | 主分类号 | H01H51/01(2006.01)I | IPC主分类号 | H01H51/01(2006.01)I;H01H51/22(2006.01)I | 专利有效期 | 一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关 至一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及射频微机电系统技术领域，公开了一种双稳态单晶硅梁射 频微机电系统开关，该射频微机电系统开关包括电磁驱动部分和悬臂梁可 动部分，电磁驱动部分和悬臂梁可动部分采用对准键合方式结合在一起； 电磁驱动部分具有铁心铁壳和永磁体，通过在平面线圈加电流产生的磁场 与永磁体的磁场相叠加来改变整体磁场的方向，从而使悬臂梁可动部分动 作，实现触点通断。利用本发明，该射频微机电系统开关工作电压比较低， 驱动力大，工作次数高，功耗比较低，接触电阻小隔离度高，控制电路简 单，适用于较大功率射频通讯电路。 |
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