| 专利名称 | L形梁压阻式微加速度计及其制作方法 | 申请号 | CN200810037511.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101271124 | 公开（授权）日 | 2008.09.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 熊斌;高廷金;车录锋;王跃林 | 主分类号 | G01P15/12(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P15/12(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | L形梁压阻式微加速度计及其制作方法 至L形梁压阻式微加速度计及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种L梁压阻式微型加速度计及其制作方法，包括支撑主框 架体、弹性梁、质量块、盖板等，其特征在于所述的汤型梁呈L形，L形弹 性梁的长臂与支撑主框架体的边框相连，质量块通过L形弹性梁支撑悬于支 撑边框体的中间，L形弹性梁的短臂与质量块上表面的顶角相连；支撑主框 架体的上、下两面粘合有盖板；L形梁的长臂的根部和顶端各设置有压敏电 阻，每根L形梁上的两个阻值相等的压敏电阻组成惠斯顿电桥的单边应变的 电桥。采用微电子机械加工技术作为关键制作技术。解决现有压阻式微加速 度计不能同时满足灵敏度高、体积小、成本低、交叉干扰小、易于加工的问 题。 |
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