一种管状相变存储器单元结构及制作方法

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专利名称 一种管状相变存储器单元结构及制作方法 申请号 CN200810034940.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101267017 公开(授权)日 2008.09.17 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 凌云;宋志棠;封松林 主分类号 H01L45/00(2006.01)I IPC主分类号 H01L45/00(2006.01)I;H01L27/24(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;G11C11/56(2006.01)I;G11C16/02(2006.01)I 专利有效期 一种管状相变存储器单元结构及制作方法 至一种管状相变存储器单元结构及制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种管状相变存储器单元结构及制作方法,所述的相变存储器 单元结构包括上电极、下电极以及存储部分。单元结构的基本特征是:相变 材料分布在孔的侧壁,利用孔中相变材料的截面积小电阻大,在读写操作中 通过自身发热完成相变,同时在环形相变材料的两端通过加相变材料保温层 作为封盖形成管状,以提高读写操作中热量的利用效率,存储部分为一个上 下用相变材料封盖的管状结构,里面填充金属、绝缘绝热材料或者高阻材料。 本发明的存储器结构可以降低写操作电流、功耗小、热量利用率高、数据保 持性能好,可以提高在芯片中器件的阻值一致性。

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