一种晶体硅太阳电池及其制备方法

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专利名称 一种晶体硅太阳电池及其制备方法 申请号 CN201110008571.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102122674A 公开(授权)日 2011.07.13 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 褚君浩;窦亚楠;何悦;王建禄;马晓光 主分类号 H01L31/0216(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/0216(2006.01)I;H01L31/052(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 一种晶体硅太阳电池及其制备方法 至一种晶体硅太阳电池及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种晶体硅太阳电池及制备方法,该晶体硅太阳电池包括pn+结硅基底,n+发射极表面有第一非晶氧化铝层和非晶氮化硅层,银电极穿过非晶氮化硅层和第一非晶氧化铝层与n+发射极连接,p型基底表面有复合钝化介质层,包括氧化硅层和第二非晶氧化铝层,p型基底与背电极接触。其制备方法包括复合钝化介质层的特殊制备,本发明采用硝酸和双氧水溶液处理p型基底表面,溶胶-凝胶工艺制备第二非晶氧化铝层,退火后形成复合钝化介质层(4)。本发明具有工艺简单,设备投资低,前表面钝化和抗反射性能好,背表面复合钝化介质层钝化效果优异并能提高长波利用效率等优点。

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