一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法

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专利名称 一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法 申请号 CN201210499926.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103018011A 公开(授权)日 2013.04.03 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 邢莎莎;廖志杰;林妩媚 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法 至一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法,用分光镜将准分子激光光源的光束分为测试光路和参考光路;将可变衰减器移出光路中,记录空测时两个通道的测量数据;将可变衰减器移入光路中,记录实测时两个通道的测量数据;将空测和实测时的测量数据进行处理,计算出可变衰减器的透过率。本发明用该方法测量光学可变衰减器随入射角度变化的透过率,具有较高的测量精度和测量多功能性。

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