专利名称 | 一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法 | 申请号 | CN201210499926.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN103018011A | 公开(授权)日 | 2013.04.03 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 邢莎莎;廖志杰;林妩媚 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法 至一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光学可变衰减器透过率测量系统及测量方法,用分光镜将准分子激光光源的光束分为测试光路和参考光路;将可变衰减器移出光路中,记录空测时两个通道的测量数据;将可变衰减器移入光路中,记录实测时两个通道的测量数据;将空测和实测时的测量数据进行处理,计算出可变衰减器的透过率。本发明用该方法测量光学可变衰减器随入射角度变化的透过率,具有较高的测量精度和测量多功能性。 |
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