一种具有体接触结构的PD SOI器件

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专利名称 一种具有体接触结构的PD SOI器件 申请号 CN201010225638.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101931008A 公开(授权)日 2010.12.29 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 陈静;伍青青;罗杰馨;肖德元;王曦 主分类号 H01L29/78(2006.01)I IPC主分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 专利有效期 一种具有体接触结构的PD SOI器件 至一种具有体接触结构的PD SOI器件 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种具有体接触结构的PD?SOI器件,该器件的有源区包括:栅区、体区、N型源区、N型漏区、体接触区以及硅化物;所述N型源区和N型漏区相对的分别位于所述体区前部的两侧,所述体接触区位于所述体区后部一侧与所述N型源区并排,所述硅化物位于所述体接触区及所述N型源区之上并同时与它们相接触,所述栅区为倒L型,位于所述体区之上,由所述体区的后部向外引出。该器件的体接触制作在源区与栅极引出的交界处,在有效抑制浮体效应的同时,还具有不会增加芯片面积,消除了传统体接触结构增加芯片面积的缺点,并具有制造工艺简单与常规CMOS工艺相兼容等优点。

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