| 专利名称 | 一种三维位置跟踪测量装置及其测量方法 | 申请号 | CN201010586763.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102538664A | 公开（授权）日 | 2012.07.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 发明（设计）人 | 朱思俊;邹媛媛;郭大忠;柳连柱;赵明扬;许石哲 | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种三维位置跟踪测量装置及其测量方法 至一种三维位置跟踪测量装置及其测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于测量领域，具体地说是一种三维位置跟踪测量装置及其测量方法，装置包括干涉仪本体、干涉计镜组、偏差检测系统、二维随动系统、目标反射镜及第一、二转向元件，方法为干涉仪本体发射的激光光路依次通过干涉计镜组、分光元件，经第一、二转向元件转向后照射到目标反射镜上，目标反射镜反射的光经两个转向元件后照射到偏差检测系统上，通过分光元件分为两路，一路反射回干涉仪本体，另一路照射在光斑位置传感器上；再将检测出的偏移量转换成位移信号后传递给二维随动系统中的各伺服电机，带动第一、二转向元件移动，使第一、二转向元件准确跟踪目标反射镜。本发明测量精度高，结构简单，便携性好；测量方法简单，可靠性强。 |
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