| 专利名称 | 一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件 | 申请号 | CN201310018690.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103088301A | 公开（授权）日 | 2013.05.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院过程工程研究所 | 发明（设计）人 | 王文忠;王志;段东平 | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;H01L31/032(2006.01)I | 专利有效期 | 一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件 至一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种铜铟镓硒薄膜的硒化处理装置、方法及铜铟镓硒薄膜器件。所述装置包括石英管，所述石英管内部设有硒化单元，所述硒化单元包括通过隔热材料相连接的硒源凹槽和CIGS薄膜凹槽，两凹槽上方设有防护罩，所述防护罩与两凹槽之间形成密闭空间。将固态硒源和CIGS薄膜分别放入硒源凹槽和CIGS薄膜凹槽中，然后抽真空，加热，进行硒化处理。本发明硒化处理装置和方法具有硒蒸气泄露少、硒化效率高，可以同时处理多个样品等优点，有利于稳定、批量制备CIGS薄膜太阳能电池器件。 |
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