| 专利名称 | 一种投影光学系统 | 申请号 | CN201210027757.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102566011A | 公开（授权）日 | 2012.07.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 白瑜;邢廷文;吕保斌;范真节;邓超;张海波 | 主分类号 | G02B13/14(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/14(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I;G02B27/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种投影光学系统 至一种投影光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)、第四透镜单元(L4)和第五透镜单元(L5)，所述透镜单元均处于同一光轴，第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力，第五透镜单元(L5)具有正折光力，且所述透镜均为球面。本发明的投影光学系统能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。 |
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