一种透射式激光微推进薄膜靶带的制备方法和其制作用设备

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专利名称 一种透射式激光微推进薄膜靶带的制备方法和其制作用设备 申请号 CN201210584553.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103100516A 公开(授权)日 2013.05.15 申请(专利权)人 中国科学技术大学 发明(设计)人 马宏昊;焦龙;蔡建;张兴华;林谋金;沈兆武;李龙 主分类号 B05D7/04(2006.01)I IPC主分类号 B05D7/04(2006.01)I;B05C9/08(2006.01)I 专利有效期 一种透射式激光微推进薄膜靶带的制备方法和其制作用设备 至一种透射式激光微推进薄膜靶带的制备方法和其制作用设备 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种能满足激光微推进用靶材料的制作方法及其加工设备,达到可加工满足透射式微推力器测试、使用要求的靶带。本发明提供的透射式激光微推进薄膜靶带的制备方法,可制备满足测试、使用要求的透射式靶带。该方法制备的靶带均匀性好,避免了常规方法中易出现的橘皮、针孔等问题。使用本发明中的加工设备更易于制备均匀的长靶带。本发明的设备可提高透射式靶带的生产效率,制作的烧蚀层更加均匀,长靶带的制作也更加简单易行。该设备搭建容易,可以使用现有的工业原材料组装,成本低廉,使用方便,加工效率高,可以重复使用。加热系统通过上下部同时加热可使温差恒定,制得的靶带更加均匀,表面平整度高,可有效保证微推力器的作用稳定性。

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