全息变间距光栅曝光光路的装调方法

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专利名称 全息变间距光栅曝光光路的装调方法 申请号 CN201210575060.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103064140A 公开(授权)日 2013.04.24 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 巩岩;刘壮 主分类号 G02B5/18(2006.01)I IPC主分类号 G02B5/18(2006.01)I;G03H1/12(2006.01)I 专利有效期 全息变间距光栅曝光光路的装调方法 至全息变间距光栅曝光光路的装调方法 法律状态 公开 说明书摘要 全息变间距光栅曝光光路的装调方法,属于光谱技术领域,为解决现技术中测量难度大、精度低的问题,本发明方法包括步骤一、初建全息变间距光栅的曝光光路;步骤二、建立全息变间距光栅的曝光光路装调装置;步骤三、计算机处理干涉条纹,拟合干涉图中条纹的间距与曲率的函数,计算出光路参数的失调量,依照失调量调整光路;步骤四、重复步骤二和步骤三直到失调量满足公差的要求;步骤五、按照步骤二至步骤四装调另一只光路;步骤六、将光栅基底固定在CCD相机的物面位置,装调完成,在全息变间距光栅的制作中,通过对曝光光路与参考光路干涉条纹的处理、计算获知曝光光路参数,能够实时、准确地获得数据,提高全息变间距光栅的制作效率与精度。

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