| 专利名称 | 一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵 | 申请号 | CN201120446772.X | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202326246U | 公开（授权）日 | 2012.07.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明（设计）人 | 雷震霖;王光玉;刘在行 | 主分类号 | F04C25/02(2006.01)I | IPC主分类号 | F04C25/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵 至一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨和爪式转子组合的多级干式真空泵。该泵由变频电机、主从动轴、一级罗茨主从动转子、四级爪式主从动转子、五个泵腔、排气腔、轴承腔、油箱、齿轮箱、主从动齿轮构成，其中电机有水冷，泵腔外底部固定有水循环冷却管；共有5级腔体，每级腔体中通过一定的气体流道相通；本实用新型转速高，体积小重量轻，一级罗茨转子和四级爪式转子组合，罗茨转子为高真空吸气级，爪形转子为压缩排气级，可以在低入口压力下获得大的抽气速率，增大压缩比提高极限真空度，节约能源，在抽速相同的情况下减小了泵的体积和重量，同时降低了气流脉动冲击，减小噪音，并且实现直排大气，不需要接前级泵即可工作。 |
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