可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法

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专利名称 可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法 申请号 CN201210540625.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103033488A 公开(授权)日 2013.04.10 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 王睿;魏劲松 主分类号 G01N21/41(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/41(2006.01)I;G01N21/17(2006.01)I 专利有效期 可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法 至可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法,主要包括光源调制监测部分,数据采集部分以及照明观察部分。装置中采用两个光源,既可以方便切换光源,采用信号发生器控制岀射激光的脉冲宽度,脉冲周期,功率可调;可以测量样品的透射开孔和透射闭孔数据,还可测量样品反射开孔数据;本发明不仅适用于透明材料的非线性吸收系数和非线性折射率,而且适用于半透明,不透明材料的非线性测量。装置中对于样品运动平台加入了显微物镜,照明光源以及CCD相机,可以实时观察样品表面形貌,避免由于样品形貌变化对测量数据的影响;同时加入示波器实时监测作用激光波形功率,提高材料非线性测量的精度和准确性。

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