一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层及其制备方法

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专利名称 一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层及其制备方法 申请号 CN201210576697.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103060653A 公开(授权)日 2013.04.24 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 黄峰;王博;王怀勇 主分类号 C22C29/14(2006.01)I IPC主分类号 C22C29/14(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 专利有效期 一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层及其制备方法 至一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层及其制备方法 法律状态 公开 说明书摘要 本发明公开了一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层,由TiB2相和Cu相构成,所述TiB2相具有(0001)晶面择优取向,以质量百分比计,组成元素为:50.9~88%的Ti、4.1~14.0%的B以及1.0~45.0%的Cu,属于陶瓷涂层领域。该涂层兼具有高硬度、高韧性的特点,其塑性指数为0.30以上,硬度达到25GPa以上,能够很好地满足使用要求,具有广阔的应用前景。本发明还公开了一种二硼化钛-铜韧性硬质涂层的制备方法,其方法为:将TiB2靶安装在中频阴极上,Cu靶安装在直流阴极上,采用磁控溅射方法,对基体溅射沉积TiB2-Cu韧性硬质涂层。该方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。

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