| 专利名称 | 自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统 | 申请号 | CN201110009273.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102592963A | 公开（授权）日 | 2012.07.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 崔金明;吴晓伟;尉伟;孙方稳;付绍军;韩正甫;郭光灿 | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 专利有效期 | 自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统 至自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统，其装置的连接为：装有反应气体和氮气的第一钢瓶和第二钢瓶分别经过电磁阀，连接到膨胀室，膨胀室的另一端与刻蚀室连接，刻蚀室连接挡油阱，挡油阱的另一端连接真空泵，第二钢瓶的另一路直接连接到刻蚀室。在膨胀室和刻蚀室、刻蚀室与挡油阱之间都放置电磁阀和针阀，通过控制上述电磁阀和针阀控制通放气和气流的大小。并在膨胀室和刻蚀室上各连接气压计，通过检测气压和控制各处电磁阀的开关实现脉冲刻蚀。最终实现低成本、高效率和高质量的自动化气体脉冲刻蚀。 |
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