| 专利名称 | 一种检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法 | 申请号 | CN201010198891.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101907576A | 公开（授权）日 | 2010.12.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 崔晓攀;方维政;张传杰;徐华莲;孙世文;杨建荣 | 主分类号 | G01N21/88(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/88(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法 至一种检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法。其方法是：使用红外透射显微镜，以碲锌镉材料中的沉淀物为定位标记，测定碲锌镉材料缺陷腐蚀坑在多次腐蚀后的横向移动的取向和距离，结合腐蚀深度的测量确定缺陷的空间延伸特性。本方法定位精度高，腐蚀坑横向位移的测量精度可以达到0.2微米，操作方便，仪器要求简单，解决了长久以来，跟踪观察碲锌镉材料缺陷的定位难题。这对研究碲锌镉材料缺陷的特性，进而降低碲镉汞外延材料的位错密度具有实用价值。 |
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