石英晶体微天平的谐振频率的跟踪测试系统及其方法

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专利名称 石英晶体微天平的谐振频率的跟踪测试系统及其方法 申请号 CN200910224159.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101876567A 公开(授权)日 2010.11.03 申请(专利权)人 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 马宏伟;李振涵 主分类号 G01H13/00(2006.01)I IPC主分类号 G01H13/00(2006.01)I;G01G3/16(2006.01)I;G01G23/01(2006.01)I 专利有效期 石英晶体微天平的谐振频率的跟踪测试系统及其方法 至石英晶体微天平的谐振频率的跟踪测试系统及其方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种石英晶体微天平的谐振频率的跟踪测试系统及其方法,该跟踪测试系统包括模拟电路测试网络,其特征在于,所述的跟踪测试系统还包括:数字频率合成器,同源倍频信号生成模块,用于生成一个与该驱动信号同源并且频率为4/(2N+1)倍频信号驱动高速模数转换器ADC,所述的采样模块输出的电压信号经过运算放大器放大后直接进入高速模数转换器ADC进行转换并输出;信号处理模块,用于根据基尔霍夫定律计算QCM晶片的串行复导纳,再近似求得当前频率与QCM晶振串联谐振频率之差,以及晶片的串行阻抗;反馈跟踪模块,用于改变数字频率合成器输出频率,使之逼近QCM的串行谐振频率,反复执行以实现对QCM串行共振频率的跟踪。

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