| 专利名称 | 一种MEMS红外发射式气敏传感器 | 申请号 | CN201010145221.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102213673A | 公开（授权）日 | 2011.10.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 高超群;景玉鹏 | 主分类号 | G01N21/35(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/35(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种MEMS红外发射式气敏传感器 至一种MEMS红外发射式气敏传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种MEMS红外发射式气敏传感器，通过激发待测气体发光，分析其发射谱判断气体种类，并通过测量吸光度确定该气体的浓度，包括集成在硅衬底上的气体发光管(1)、吸收气室(2)、发射谱分光阵列(3)、吸收谱分光阵列(4)、发射谱检测阵列(5)和吸收谱检测阵列(6)；其中，所述气体发光管(1)位于吸收气室(2)的中部，吸收气室(2)的两端分别安装有发射谱分光阵列(3)和吸收谱分光阵列(4)，发射谱分光阵列(3)的外侧进一步安装有发射谱检测阵列(5)，吸收谱分光阵列(4)的外侧进一步安装有吸收谱检测阵列(6)。利用本发明，满足了人们对于气体分析准确、便捷、低成本的要求。 |
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