提高电子注入效率的氮化镓基发光二极管

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专利名称 提高电子注入效率的氮化镓基发光二极管 申请号 CN201110115323.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102185056A 公开(授权)日 2011.09.14 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 马平;王军喜;魏学成;曾一平;李晋闽 主分类号 H01L33/02(2010.01)I IPC主分类号 H01L33/02(2010.01)I;H01L33/14(2010.01)I;H01L33/04(2010.01)I 专利有效期 提高电子注入效率的氮化镓基发光二极管 至提高电子注入效率的氮化镓基发光二极管 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种提高电子注入效率的氮化镓系发光二极管,其包括:一衬底;一氮化镓成核层制作在衬底上;一缓冲层制作在氮化镓成核层上;一n型接触层制作在缓冲层上,在该n型接触层的上面的一侧形成一台面;一下多周期n型电子耦合层制作在n型接触层上台面另一侧的上面;一下隧穿势垒层制作在下多周期n型电子耦合层上;一上多周期n型电子耦合层制作在下隧穿势垒层上;一上隧穿势垒层制作在上多周期n型电子耦合层上;一多周期活性发光层制作在上隧穿势垒层上;一负电极制作在n型接触层的台面上;一p型电子阻挡层制作在多周期活性发光层上;一p型接触层制作在p型电子阻挡层上;一正电极制作在p型接触层上,形成氮化镓系发光二极管的结构。

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