一种石墨烯的生长方法以及石墨烯

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专利名称 一种石墨烯的生长方法以及石墨烯 申请号 CN201110078118.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102181924A 公开(授权)日 2011.09.14 申请(专利权)人 苏州纳维科技有限公司;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 刘争晖;王建峰;钟海舰;任国强;蔡德敏;徐耿钊;樊英民;徐科 主分类号 C30B25/18(2006.01)I IPC主分类号 C30B25/18(2006.01)I;C30B29/02(2006.01)I 专利有效期 一种石墨烯的生长方法以及石墨烯 至一种石墨烯的生长方法以及石墨烯 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种石墨烯的生长方法,包括如下步骤:提供III族氮化物衬底;将所述III族氮化物衬底置于平板加热器的中心区域;向III族氮化物衬底表面通入非氧化性气体;加热III族氮化物衬底;向III族氮化物衬底表面通入含碳物质作为碳源,进行石墨烯的生长;停止通入碳源,持续通入非氧化性气体保护并降温至室温。

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