| 专利名称 | 一种高分辨率投影光学系统 | 申请号 | CN201210132632.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102662307A | 公开（授权）日 | 2012.09.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 白瑜;邢廷文;朱红伟;廖志远;刘志祥 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B13/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高分辨率投影光学系统 至一种高分辨率投影光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出了一种高分辨率投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该高分辨率投影光学系统，沿其光轴方向包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)和第四透镜单元(L4)。从光束入射方向依次排布的第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力。且所述的投影光学系统中含有4个非球面。本发明的高分辨率投影光学系统能更好的提供像质、缩短总长、减小透镜口径、提升系统分辨率。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障