| 专利名称 | 一种亚波长光栅周期的测量器件 | 申请号 | CN201310042037.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103076162A | 公开（授权）日 | 2013.05.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 罗先刚;赵泽宇;王长涛;王彦钦;陶兴;姚纳;蒲明薄;杨欢;刘利芹;罗云飞 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种亚波长光栅周期的测量器件 至一种亚波长光栅周期的测量器件 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种亚波长光栅周期的测量器件，由标准光栅和金属介质多层膜组成，金属-介质多层膜由多层介质层和多层金属层为相间隔放置；介质层的上层位于标准光栅的下方，金属层的底层位于待测光栅上方，将电场方向与标准光栅方向垂直的线偏振入射光照射到标准光栅上，标准光栅产生多级携带高空间频率的衍射波，并通过金属介质多层膜滤波；滤过透射波与待测光栅差频形成能观测的长周期干涉条纹；最后观察测量干涉条纹并确定待测光栅周期。 |
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