| 专利名称 | 一种用于多级干式真空泵的气路分配系统 | 申请号 | CN201110357973.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103104439A | 公开（授权）日 | 2013.05.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明（设计）人 | 张振厚;王光玉;孔祥玲 | 主分类号 | F04B39/10(2006.01)I | IPC主分类号 | F04B39/10(2006.01)I;F04B39/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于多级干式真空泵的气路分配系统 至一种用于多级干式真空泵的气路分配系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于真空泵领域，具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路分配系统，包括集成模块、孔板、销及压力传感器，其中集成模块内分别开有进气通道及出气通道，进气通道与出气通道通过位于两者之间的孔板相连通；所述出气通道内插设有可转动的销，销位于出气通道内的部分开有多个通孔；所述集成模块的进气端及出气端分别设有与进气通道连通的进气口及与出气通道连通的出气口，所述压力传感器分别安装在集成模块的进气端及出气端，分别测量所述孔板两侧的气体流量。本发明通过销的旋转，以不同孔径的通孔与出气口对接，不用更换气路即可实现各输出管路间不同流量比例的气体输出。 |
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