真空泵用排气装置

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专利名称 真空泵用排气装置 申请号 CN201120056169.0 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN201934278U 公开(授权)日 2011.08.17 申请(专利权)人 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 发明(设计)人 张振厚;王光玉;秦柏林 主分类号 F04B37/14(2006.01)I IPC主分类号 F04B37/14(2006.01)I 专利有效期 真空泵用排气装置 至真空泵用排气装置 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型涉及真空泵设备,具体地说是一种真空泵用排气装置,包括外罩、排气管、传输管及进气法兰,其中排气管设置在外罩内,排气管的顶端由外罩穿出、与尾气处理装置相连接;所述传输管安装在外罩内,在外罩的外表面设有进气法兰,该进气法兰的一端与真空泵相连,另一端与外罩的内部连通;由进气法兰进入外罩内的气体经传输管、通过排气管排出至尾气处理装置。本实用新型使真空泵排出气体在外罩内迂回流动,先通过传输管后再由排气管3排出至尾气处理装置,使气体中含有的粉尘落到外罩底部,降低了排出气体中的粉尘含量,避免工艺制程中产生粉尘颗粒堵塞排气口,延长机组维护时间,降低了大抽速干泵机组噪音。

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