专利名称 | 一种籽晶传动装置 | 申请号 | CN201020620977.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN201933202U | 公开(授权)日 | 2011.08.17 | 申请(专利权)人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明(设计)人 | 王宏宇;郭东民;黄晓霞;张国栋;佟辉;吕琪;王尧 | 主分类号 | C30B35/00(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B35/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种籽晶传动装置 至一种籽晶传动装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种籽晶传动装置,属于真空设备技术领域。包括籽晶轴、水电连接机构、称重机构、调节平台、丝杠丝母组件和支撑机构,与调节平台固定支架连接的所述丝杠丝母组件设置在支撑机构上,丝杠与第二电机输出轴连接,还包括有与丝杠连接的辅助驱动机构,在断电时可进行手动操作。本实用新型在水电连接机构中,采用了导电滑环及旋转接头并用的结构,实现籽晶杆自转时电、水的连接。在称重机构中采用了膨胀节密封结构,使称重传感器可根据实际样品适当选择量程,使得大气下的称重传感器可精确测量真空内样品的重量。精度调节中采用了双导轨及滑块,使其运动灵活,微分头的使用不但使其操作更加方便且实现了微调,精调。支撑机构采用铝型材机构,可有效的减轻重量,且总体美观。 |
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