在线焦斑能量分布检测方法

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专利名称 在线焦斑能量分布检测方法 申请号 CN201210572911.2 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103033261A 公开(授权)日 2013.04.10 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 金博;赵东峰;邵平;鄔融;夏兰 主分类号 G01J1/00(2006.01)I IPC主分类号 G01J1/00(2006.01)I;G01J1/04(2006.01)I;G01J9/00(2006.01)I 专利有效期 在线焦斑能量分布检测方法 至在线焦斑能量分布检测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种在线焦斑能量分布检测方法,引入一个分光装置将测量仪器损伤阈值以下能量的激光分离出来,利用缩束装置与哈特曼传感器来检测焦斑的能量分布,既可以避免实验光路引入的其他光学元件对实验的影响,又可以利用哈特曼传感器的可编程性来消除采样激光的固有误差来达到在线检测的目的。本发明可广泛应用于激光系统,特别是高功率激光装置的焦斑测试。

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