| 专利名称 | 一种安全性高的原子层沉积设备 | 申请号 | CN201110300052.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103031532A | 公开（授权）日 | 2013.04.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 王燕;李勇滔;夏洋;赵章琰;石莎莉 | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 专利有效期 | 一种安全性高的原子层沉积设备 至一种安全性高的原子层沉积设备 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种半导体工艺设备，尤其是涉及一种安全性高的原子层沉积设备。所述原子层沉积设备，包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件和控制部件；控制部件包括触摸屏、工控机和数据处理模块；触摸屏与所述工控机连接，工控机与数据处理模块连接，数据处理模块分别与真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件连接。本发明通过采用触摸屏、工控机和数据处理模块取代计算机作为控制器件，使得整个设备结构简洁清晰，便于组装、生产和维护，能够有效防止意外事故对设备的损坏。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障