| 专利名称 | 集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法 | 申请号 | CN201210592053.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103017905A | 公开（授权）日 | 2013.04.03 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 林慧;黎华;张国栋;欧红师;丁海鹏;杜如虚 | 主分类号 | G01J3/30(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J3/30(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I | 专利有效期 | 集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法 至集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明适用于光谱分析仪器领域，公开了集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法。微型光谱仪包括阵列光电探测器、上透光平板和下透光平板；上透光平板上设置有隔光层，隔光层上设置有透射狭缝；下透光平板上设置有变栅距光栅。本发明提供的微型光谱仪基于平面变栅距光栅这一核心器件，该器件既有普通衍射光栅的分光作用，又通过栅线的变化起到像差校正作用。设置了透射微狭缝为系统入光口，克服了反射式微狭缝难以隔绝环境光干扰、系统封装不便、杂散光强的缺点，降低了系统集成的难度，提高了光谱信号检测的精度。制造方法完全被MOEMS工艺兼容，体积微小紧凑，适用于对体积有严格要求的嵌入式光谱检测系统，且检测精度高、检测效果好。 |
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