专利名称 | 一种光束传输稳定装置 | 申请号 | CN201210030456.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102566318A | 公开(授权)日 | 2012.07.11 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 甘大春;王建;林妩媚;张海波;廖志杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光束传输稳定装置 至一种光束传输稳定装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种光束传输稳定装置,用于将激光器发射光束传输到照明系统,在所述传输光路上放置光束控制模块,光束控制模块包括第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43);在光束控制模块的出射光路上放置分光镜(44),分光镜(44)将光束分成两束,一束光束进入照明系统(5),另一束光束进入光束测量模块(45),光束测量模块(45)与控制器(46)相连,用于向控制器(46)提供测量数据,控制器(46)与光束控制模块的第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43)相连,用于向光束控制模块提供控制信号,实现同时对光束位置偏差和指向偏差进行调节。 |
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