| 专利名称 | 一种表面发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法 | 申请号 | CN201210023696.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102545056A | 公开（授权）日 | 2012.07.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 曹俊诚;万文坚;韩英军 | 主分类号 | H01S5/34(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/34(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I;B82Y20/00(2011.01)I | 专利有效期 | 一种表面发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法 至一种表面发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种表面发射太赫兹量子级联激光器及其制作方法，该激光器包括单模产生区波导、锥形耦合区波导和表面发射区波导；单模产生区波导和锥形耦合区波导采用一阶光栅结构，表面发射区波导采用二阶光栅结构；单模产生区波导内部产生单模太赫兹种子光，锥形耦合区波导将所述太赫兹种子光放大并耦合到表面发射区波导，表面发射区波导使太赫兹激光垂直衬底表面出射。本发明实现了太赫兹量子级联激光器的大功率、窄线宽和小发散角太赫兹激光表面发射，在一定程度上抑制了横向高次模的激射，同时减少了波导之间的耦合损失和端面损失。 |
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