| 专利名称 | 一种不锈钢衬底的精密抛光方法 | 申请号 | CN200910194558.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101642893 | 公开（授权）日 | 2010.02.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 胡晓凯;宋志棠;刘卫丽 | 主分类号 | B24B29/02(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B29/02(2006.01)I;C09G1/02(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种不锈钢衬底的精密抛光方法 至一种不锈钢衬底的精密抛光方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种不锈钢衬底的精密抛光方法，包括：按比例配制抛光液；将待抛光的 不锈钢衬底5固定于抛光头4底部，加压装置7将抛光头4作用于抛光台6上，并且抛光 台6、抛光头4在转动装置带动下旋转，同时抛光液2被输送至抛光垫1表面，使抛光液 2、抛光垫1及不锈钢衬底5三者充分接触；将不锈钢衬底5表面进行化学机械抛光至表 面完全成镜面，立即清洗即可。经本发明抛光后的不锈钢衬底，其表面平整光滑，均方根 粗糙度仅0.7纳米，克服了其他抛光方法所无法满足的平坦度及粗糙度的要求。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障