| 专利名称 | 一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层及其制备方法 | 申请号 | CN201210011554.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102534493A | 公开（授权）日 | 2012.07.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 黄峰;葛芳芳;李艳玲;朱萍 | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 专利有效期 | 一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层及其制备方法 至一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层，成分表示为(V1-xAlx)N，其中，1-x为0.41～0.6，x为0.4～0.59，在保证较低摩擦系数的同时，能够保证具有较高的硬度，特别适合作为刀具涂层。本发明公开了一种纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：基体清洗；沉积涂层：在真空室中，将Al靶安装在中频阴极上，V靶安装在直流阴极上，通入Ar气和N2气，通过调节Al靶的功率和V靶的功率，在250℃～500℃和0.3Pa～1.0Pa条件下，对基体溅射沉积纳米复合结构的V-Al-N硬质涂层，其可操作性强、可控性好、易于工业化生产，具有较好的经济效益。 |
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