一种康芒法大口径平面镜检验集成装置

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专利名称 一种康芒法大口径平面镜检验集成装置 申请号 CN200910195165.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101639350 公开(授权)日 2010.02.03 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 蒋丹杰;孙胜利;张朋军 主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I 专利有效期 一种康芒法大口径平面镜检验集成装置 至一种康芒法大口径平面镜检验集成装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种康芒法大口径平面镜检验集成装置,包括:本体上固联 球面镜支架,同时载物台安放有平面镜支撑转台-支架系统,同时可以360°自 由回转的高精度转台。整个结构从侧面看呈“L”形;平面镜支撑转台,其转 轴与载物台转轴共轴;载物台及其载荷通过滚珠导轨卸载安放到基座上;载物 台由蜗轮的主轴带动;蜗轮蜗杆系统由电机提供动力;编码器提供位置反馈信 号,与电机构成闭环系统,控制载物台的位置。本发明的优点在于:省去了平 时用瑞奇一康芒法检测平面镜面型时多次调整球面镜与平面镜角度、距离和同 轴性的工作;整个系统结构简单,使用方便,精度好。

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