| 专利名称 | 一种光学集成结构及其制作方法 | 申请号 | CN201210040365.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102540365A | 公开（授权）日 | 2012.07.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘丰满;万里兮 | 主分类号 | G02B6/42(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/42(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学集成结构及其制作方法 至一种光学集成结构及其制作方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开一种可以有效的降低制作成本，简化工艺步骤，提高良率的新的光学集成结构，包括：一激光器、一光学无源器件和一探测器，光学无源器件和激光器或者探测器连接，光无源器件和外部通过光波导连接，光无源器件的底部金属通过金属孔连接到外部，激光器或探测器的背电极和光无源器件的底部金属通过金属线连接，本发明实现一种光电集成结构，通过定位、转移、塑封等技术达到光电器件混合集成，减少所需工序以提高生产率，降低成本，生产周期和成本大幅下降，同时，用于实现该结构的方法工艺简单，成本低廉，便于操作，效率高。 |
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