| 专利名称 | 光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器 | 申请号 | CN200810117070.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101635433 | 公开（授权）日 | 2010.01.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 郑婉华;邢名欣;任刚;刘安金;陈微;周文君;陈良惠 | 主分类号 | H01S5/20(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/20(2006.01)I;H01S5/30(2006.01)I;H01S5/10(2006.01)I | 专利有效期 | 光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器 至光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种光子晶体啁啾波导慢光边发射激光器，由制作于半 导体芯片上的空气孔型光子晶体结构构成，分为三个部分，左边部分为慢 光波导结构，用来产生激光；右端为输出波导结构，该输出波导结构内侧 相邻的两行空气孔的直径都略小于周围光子晶体的空气孔直径；慢光波导 结构与输出波导结构中间为啁啾波导结构，该啁啾波导结构内侧相邻两行 空气孔的直径从与慢光波导结构空气孔直径相同而逐渐变小，直到与输出 波导结构的空气孔直径相同。本发明提供的边发射激光器，采用光子晶体 波导的带边慢光模式，突破了缺陷腔模式体积受限制的瓶颈，利用啁啾波 导结构，将慢光模式高效转换为正常群速度导波模式，使得边发射激光的 输出效率得到大幅提高。 |
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