| 专利名称 | 一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法 | 申请号 | CN201210040980.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102593063A | 公开（授权）日 | 2012.07.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 曹鸿涛;梁凌燕;刘志敏 | 主分类号 | H01L21/8254(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/8254(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I | 专利有效期 | 一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法 至一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种双极性氧化亚锡反相器的制备方法，包括以下步骤：选择衬底，并进行栅介质层及输入端电极的制备，或者，选择衬底，在衬底上制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极；采用电子束蒸发设备和氧化锡蒸发料，沉积氧化亚锡薄膜，之后进行第一次热退火处理，完成氧化亚锡沟道层的制备；制备输出端电极、电源供应端电极及接地电极，进行第二次退火处理，或者制备栅介质层及输入端电极，进行第二次退火处理，从而制备底栅结构或者顶栅结构的反相器；本发明制备方法简单可控，制备的双极性氧化亚锡反相器可同时工作在第一和第三象限，且具有较高的增益，在光电子器件、镜片、车窗、广告、医疗设备等领域中应用前景十分广阔。 |
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