| 专利名称 | 微波太赫兹波探测器及其制备方法 | 申请号 | CN201210073157.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102593235A | 公开（授权）日 | 2012.07.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 蒋春萍;王亦 | 主分类号 | H01L31/112(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/112(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 微波太赫兹波探测器及其制备方法 至微波太赫兹波探测器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明揭示了一种微波太赫兹波探测器及其制备方法，以高电子迁移率晶体管为基本结构，该探测器在有源区的台面设有背栅和至少一个长度介于1μm至1mm的条状结构，条状结构中设有呈凹型结构或带指状的正栅，条状结构的两端形成与二维电子气通道欧姆接触的电极，且凹型结构凹处或指与电极的间距为0.5μm至500μm，其中所述背栅刻蚀深度为直达衬底。并且本发明提出了完整而可行的该种探测器制备方法。应用本发明的技术方案，较之于传统的探测器系统的显著优点为：能够无需依赖任何光学元件辅助，即可实现对微波-太赫兹波辐射的功率响应和频率响应，为降低探测器系统复杂程度、减少成本提供了一种切实保障。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障