| 专利名称 | 一种控制锗纳米微结构尺寸的方法 | 申请号 | CN201110399431.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102569027A | 公开（授权）日 | 2012.07.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 王盛凯;刘洪刚;孙兵;薛百清;常虎东;赵威;卢力;王虹 | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/02(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 专利有效期 | 一种控制锗纳米微结构尺寸的方法 至一种控制锗纳米微结构尺寸的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种控制锗纳米微结构尺寸的方法，通过热氧化法实现相应纳米微结构尺寸的减小，通过控制氧气分压及反应温度，使锗与氧气反应生成易挥发的一氧化锗，达到控制锗纳米结构尺寸的目的。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障