| 专利名称 | 一种软X射线双频光栅剪切干涉系统 | 申请号 | CN201210022269.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102590845A | 公开（授权）日 | 2012.07.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 刘正坤;邱克强;刘颖;徐向东;付绍军 | 主分类号 | G01T1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01T1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种软X射线双频光栅剪切干涉系统 至一种软X射线双频光栅剪切干涉系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种软X射线双频光栅剪切干涉系统，其采用了一种双频光栅作为软X射线剪切干涉元件，利用掠入射条件下，该光栅的两组-1级衍射光束自剪切干涉，对穿过等离子体的X射线激光的波前检测。该剪切干涉仪中采用两个多层膜球面镜的成像系统，能够得到清晰的等离子体边界。本发明将剪切干涉系统成功应用于软X射线波段，利用剪切干涉系统共光程的特点，解决了马赫-曾德尔干涉仪测试系统中等光程的调节困难的问题，为利用剪切法诊断等离子体电子密度提供了关键技术。 |
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