| 专利名称 | 一种微型电容式力学传感器及其制备方法 | 申请号 | CN201210044921.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102589760A | 公开（授权）日 | 2012.07.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 张珽;刘瑞 | 主分类号 | G01L1/14(2006.01)I | IPC主分类号 | G01L1/14(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微型电容式力学传感器及其制备方法 至一种微型电容式力学传感器及其制备方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种微型电容式力学传感器及其制备方法，属于微机电系统领域。该微型电容式力学传感器包括衬底、导电支撑柱、固定电极、固态介电层、可动电极和弹性导电支撑结构。固定电极和导电支撑柱固置于衬底上，固态介电层设置于固定电极上，可动电极通过导电支撑柱的支撑保持悬空，固态介电层与可动电极之间的悬空区域形成空气介电层。本发明采用固态介电层与空气介电层复合的双介电层结构，可以通过调节微型电容值的变化范围，适用于不同领域的测量，具有灵敏度高，动态性能好，能量损耗小，制备成本低的特点，并且能够适应较为恶劣的环境。 |
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