| 专利名称 | 计算机控制镀膜机的电子束偏转装置及控制方法 | 申请号 | CN200910055553.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101619440 | 公开（授权）日 | 2010.01.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 王宁;易葵;郭世海 | 主分类号 | C23C14/30(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/30(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 专利有效期 | 计算机控制镀膜机的电子束偏转装置及控制方法 至计算机控制镀膜机的电子束偏转装置及控制方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种计算机控制镀膜机电子束偏转的装置及控制方法，所述的计算 机控制镀膜机的电子束偏转的装置，由扫描控制仪、手动遥控器、数 据采集卡和计算机组成。本发明对电子束偏转的控制精度高、可靠性高， 对于不同的电子枪设备具有普遍适应性。每台电子枪设备，只需进行一 次数据采集和数据处理过程后，用户可以通过控制数据的调整，由计算 机自动运行控制。 |
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